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納米領(lǐng)域高分辨率的精準(zhǔn)控制

半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)是世界上最復(fù)雜、最先進(jìn)的制造工藝之一，需要先進(jìn)的設(shè)備。
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，氣體壓力的精確控制與維持所生產(chǎn)芯片的質(zhì)量息息相關(guān)。
電動(dòng)氣動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器在確保半導(dǎo)體制造的各個(gè)階段保持一致的壓力水平方面發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。


當(dāng)您的產(chǎn)品需要在納米領(lǐng)域進(jìn)行生產(chǎn)，則需要確保您的氣動(dòng)裝置與工藝一樣精確：
· 當(dāng)您不能冒損壞硅片的風(fēng)險(xiǎn)時(shí)
· 精確控制需要最高公差的壓力控制閥

半導(dǎo)體加工制造工藝中，涉及多種高純特氣的供給與調(diào)壓，需要使用高壓減壓閥、背壓閥等產(chǎn)品，可用于氣態(tài)，液態(tài)及很多特殊有腐蝕性的流體控制。